使用石英导流筒的优点

 

  • 纯度高-与石英坩埚材质相同,纯度高达99.99%以上。
  • 不氧化-相对于石墨导流筒,不会粉化,不会对单晶硅的碳含量造成影响。
  • 成本低-相当于石墨及钨材质的导流筒30%以下。
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